产业在政策与投融资方面，迎来了极大的关注。纳芯微、奥比中光、奥迪威、思特威、晶华微、灿瑞、基康仪器等多家传感器企业先后成功上市，广州、深圳、郑州、合肥等多地开工/敲定新建传感器最重要的类型之一，许多传统传感器都在不断“MEMS”化。未来的趋势是，所有能用MEMS传感器替代传统传感器的地方，都将使用MEMS传感器。没有MEMS，中国传感器产业难以发展。本文整理了目前中国大陆本土MEMS传感器芯片产线的中国MEMS芯片产线信息盘点。主要有企业IDM产线、代工产线、中试线条MEMS传感器芯片产线、河南省智能传感器MEMS中试平台（中试线年河南省重点建设项目名单》中，共计1794个项目，总投资约4.8万亿元，年度计划投资超1.3万亿元。其中，河南省智能传感器MEMS中试平台为年度重点建设项目之一。河南省智能传感器MEMS中试平台落户郑州高新区的中国（郑州）智能传感谷，于2022年8月动工建设。据《名单》介绍，项目总建筑面积6.6万平方米，主要建设智能传感器MEMS 8 吋中试平台，围绕智能传感器的设计、制造、封测和应用等全产业链各环节布局，建设产能3000-5000片/月的8吋MEMS中试平台。
2022年12月14日，广州增芯科技举行盛大的开工仪式，这条可能是未来中国甚至全球最大的MEMS产线正式开工建设。增芯科技有限
12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线英寸晶圆项目。增芯科技为广州湾区智能传感器产业集团有限公司重点项目之一。目前建设的为一期第一阶段项目，批复投资70亿元人民币，将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线上半年通线年年底满产。
此前，据《广州市2022年重点建设项目计划》显示，广州增芯项目总投资达到370亿元！将打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。项目一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。广州增芯科技MEMS项目投资规模、产能均较大，建成后将对我国MEMS产业格局具备极其重大影响。
拜安半导体MEMS产线项目由拜安科技和上海嘉定综保区公司共同出资建设，总投资约1.5亿元，致力于MEMS光纤传感器芯片的制造和
及相关研发业务，为6英寸MEMS芯片工艺线。拜安半导体MEMS产线年全面投产，目前未透露相关产能信息。拜安科技主要营业产品是以光纤光栅传感、分布式光纤传感以及MEMS光纤传感为主的智能光纤传感器，2021年9月获由软银中国资本领投的数亿元 A 轮融资，2022年9月获由深创投、中芯聚源等投资的数亿元B轮融资。（在建）4、蚌埠与214所MEMS项目（代工）-8英寸2020年12月，蚌埠与214所签约共同建设8英寸MEMS制造与微系统集成工程建设项目，建设周期为2年、总投资10亿元，建设目标是打造国内领先的8英寸MEMS智能传感器产业化平台，建成后将拥有年产5万片的MEMS晶圆制造能力和每年4亿颗MEMS芯片封测能力。预计2023年进入试运营阶段。（2022拟建）5、大湾区MEMS中试线月，在深圳光明区举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上，已敲定总投资额约15.33亿元的大湾区MEMS中试线项目将落户深圳光明区。该项目规划建设一条约产能3000片的8吋MEMS中试线，并具备热电堆、MEMS压力、MEMS麦克风、MEMS惯性传感、微流控和微振镜等工艺平台。同时，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明。
、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造的服务。根据半导体市场研究机构Yole Development统计的2021年数据，Silex Microsystems AB 连续3年在全球MEMS纯晶圆代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市场（不包含IDM
自身制造部分的统计）的占有率约为8%。赛微电子目前国内的MEMS产线英寸MEMS产线）一期建成生产，目前（2022年7月）已形成5000片/月产能，并计划在今年尽快实现一期1万片/月的产能，在2024/2025年尽快实现3万片/月的总产能。
赛微电子合肥项目公司注册资本拟设定为40亿元，计划赛微电子占股约36%(出资约14.4亿元)、合肥高新区管委会联合市区下属国资平台占股约24%（出资约10亿元）、项目核心团队持股约10%（出资约4亿元）、其他社会资本占股合计约30%（出资约12亿元）。
①已运营产线-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能3万片/月(已实现5,000片/月)；青岛GaN产线-GaN外延晶圆-产能830片/月。
②交易中产线片/月。（该交易已与2022年11月被德国政府禁止，有关信息参看：《6亿收购泡汤！中国最大MEMS代工厂被德国下禁令！》）
③筹划/筹建中产线(内部商业讨论中)；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圆-设计总产能2万片/月；怀柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圆-设计总产能3,000片/月；MEMS先进封测P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能1万片/月。
西安励德微系统科技有限公司是一家专业提供MEMS一体化解决方案的技术创新企业。2022年3月新建千平六寸MEMS产线一条投产，涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗、键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力，六寸中试线能完成从器件设计、工艺开发、工艺验证到批量生产等全产品孵化流程。
制造股份有限公司(下称“中芯集成”)拥有目前中国大陆本土产能最大的MEMS产线，MEMS晶圆年销量达85000+片。
2018年3月由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立中芯集成电路制造（绍兴）有限公司。同年5月，总投资58.8亿元的中芯集成电路制造（绍兴）项目开工奠基，该项目用地207.6亩，新建14.65万平米的厂房，建设一条集成电路8寸芯片制造生产线和一条模组封装生产线。中芯国际的MEMS方案大多分布在在MEMS麦克风、加速度计、
器件。中芯集成一期规划10万片8英寸晶圆月产能。于2020年1月正式投产，5年内持续投资近60亿人民币建设达产，形成芯片年出货51万片和模组年出货19.95亿颗的产业规模，规模化量产麦克风、惯性、射频、MOSFET以及
等产品的芯片和模组，实现年出售的收益达40亿人民币，税收4.1亿元，净利2亿元。2020年第四季度一期产能扩产至每月4万片晶圆，近期其成功完成晶圆设备链调试，8英寸晶圆月产能增至7万片，良品率达99%。2021年度中芯集成一期产能利用率已达93%，于今年（2022年）6月30日递交科创板IPO申请，拟募资达125亿元，目前已过会。“二期晶圆制造项目”拟使用募集资金投入 66.60 亿元，将建成一条月产 7 万片的硅基 8 英寸晶圆加工生产线 英寸 MEMS 和功率器件的代工产能。相关详情请参看《刚刚！中国大陆最大MEMS代工厂IPO过会！募资125亿创纪录！》内容。
芯片设计、制造、封测等企业落户，打造成与国外先进IDM同等规模的国内先进的垂直整合芯片厂。芯恩（青岛）特色工艺芯片包括MEMS芯片等。
公司3D-MEMS 硅电容传感器全套生产线，并引进其核心技术。因此，昊润科学技术拥有自己的3D-MEMS技术和硅电容传感器生产线、青鸟元芯（中试线英寸
北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司是目前国内第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的高科技企业。公司以北京大学微电子学研究院和微米/纳米加工技术国家级重点实验室为技术依托，专门从事各种微型传感器的研发和生产。目前，青鸟元芯拥有4 英寸/6 英寸MEMS 中试线，传感器年产能达千万规模。已经批量生产系列化微型
东方微磁的MEMS生产线年底全部调通，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线片/月，每年至少可生产月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、线所是我国军工集团唯一专门从事电子敏感技术探讨研究、敏感
与传感器研发的专业研究所，国内最大的传感器产业研究开发基地之一。建有4英寸MEMS微加工工艺线，自主研制出压力、加速度、流量、湿度、气体等MEMS敏感芯片，批量生产SOIMEMS压力传感器、薄膜铂热敏电阻器、高分子湿敏
江苏（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS软件巨头美国Intellisense的中国战略研发机构，在江苏南京建有MEMS传感器芯片工艺线，与北京大学、清华大学、中国科学院等众多科研机构建立了战略合作关系。
芯动科学技术拥有先进的6英寸MEMS芯片产业化生产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程，生产压力、加速度计、陀螺仪，光镜和生物医学等MEMS传感器芯片产品。
美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器晶圆生产、封测产线日，据《绍兴日报》报道，总投资约3.5亿元，建筑面积约5.27万平方米的绍兴集成电路设计产业园（西园）项目计划2023年6月竣工。位于园区内的美新半导体项目即将投产，投产后将形成年产6亿颗MEMS磁传感器芯片和1.2亿颗加速度传感器的生产能力。
原位芯片成立于2015年，主要研究人员由来自清华大学、中科院和海外院校的微电子、生物和机电等专业方面技术人才组成。原位芯片拥有一条6英寸MEMS晶圆产线多项领先MEMS技术，拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、生产能力。
上海先进半导体前身是1988年中荷合资的上海飞利浦半导体公司，经过多次改制后，2019年被上海积塔半导体吸收合并，改制为上海先进半导体制造
以及汽车电子等领域。目前，该MEMS生产平台拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片。21、华虹宏力（代工）-8英寸华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司合并而成，自建设中国大陆第一条8英寸（200mm）集成电路生产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。
探测器产线英寸，拥有业界—流的集成电路设计、MEMS设计、MEMS/封装制程开发、应用成品开发及销售服务团队。
西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。
西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，2021年3月获B轮融资，发展迅速，西人马慢慢的变成了国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量能够达到几十万颗。西人马是中国MEMS十强企业之一。25、奥松电子（IDM&代工）-6英寸
奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业，也是广东省MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业。
2019年8月该生产线实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺利完工投产，用地面积35亩，建设总用地面积2万多平米，传感器芯片年生产能力可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。
高德红外创立于1999年，总部在武汉，拥有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是目前国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线 从低到高各类面阵
杭州士兰微1997年成立，是国内顶级规模的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，有：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。士兰微是中国MEMS十强企业之一，据其2022上半年度报告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 传感器产品的营业收入达到 1.5 亿元，较上年同期增加 7.8%。
睿创微纳总部在山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。
沈阳仪表科学研究院传感器国家工厂研究中心是我国唯一的国家级传感器工程研究中心，在中国传感器研发、生产、应用等方面有着举足轻重的地位。是我国传感器标准起草牵头单位、传感器行业协会理事长单位。
38、苏州纳米城（中试线英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司（苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科学技术平台项目。
诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。
2021年3月，国家重点研发计划“制造基础技术与核心部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术方面的要求，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。
2021年8月完成4亿元融资，预计在一年内全面加速产能释放，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。40、武汉衍熙微器件（IDM）-8英寸
苏州固锝成立于1990年，是国内二极管有突出贡献的公司，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM业务。
2010年固锝收购明锐光电，明锐光电主要是做MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八英寸晶圆级封装技术及产线年成立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发、设计。2021年8月，明皜传感获小米投资，注册资本由 6443.64 万块钱增加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。
西北工业大学宁波研究院MEMS加工平台位于宁波市国家高新区智造港A区，拥有世界顶级SPTS深硅刻蚀机、SUSS MA/BA8 Gen4***、SUSS XB8键合机、全自动涂胶显影机、原子层沉积设备、两台电子束蒸镀设备（金/银/铝等金属、SiO2/Al2O3等介质）、两台激光隐切设备（硅/玻璃）、湿法腐蚀与清洗系统、椭偏仪、台阶仪等MEMS工艺专业设备，设备兼容8/6/4/2英寸晶圆加工，对全国提供MEMS芯片结构设计、镀膜、光刻、刻蚀、划片、封测、应用开发等全方位技术服务。
该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。
45、兵器214所（中试线所智能传感器创新中心已建成国家级微电子机械系统(MEMS)国家地方联合工程实验室和6英寸MEMS智能传感器研制生产的基本工艺线，具有设计、制造、封装、筛选测试及应用的全产业链研制生产能力，拥有丰富的完全自主知识产权的MEMS技术，核心发明专利300余项，产品覆盖高端惯性传感器、压力传感器、光MEMS传感器、流量传感器以及气体传感器等，是国内MEMS有突出贡献的公司和工信部传感器“一条龙”示范企业。
中国科学院电子学研究所（以下简称电子所）创建于1956年，现已并入中国科学院空天信息创新研究院，是我国第一个综合型电子与信息科学研究所，设有传感技术联合国家重点实验室(北方基地)，建有用于MEMS研发使用的MEMS产线、中科院上海微系统所（研发平台）
49、上海微技术工研院（中试线年，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营，月产量将达到3000件。
该产线部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线英寸研发中试线不仅可承担产品研制、小批量生产、技术培养和训练、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率。
今年6月，上海微技术工研院宣布将8英寸线每年四分之一的总机时资助给上海大学，用于微电子学院教学实践，为期5年。
50、中科院微电子所（中试线年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线%；针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。
欢迎在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论，或在中国最大的传感社区：传感交流圈中进行交流。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉
产业的主流技术，它对设备的依赖程度不像IC那么高，因此，不用投入像IC生产
饼同词），长这个样子：采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。若单个
近几年，各种智能穿戴设备兴起，其中智能手环、腕表更是花样繁多，但究其根本，在核心硬件原理上，都大同小异，而
正扮演着逐渐重要的角色，在马上就要来临的智能物联网时代中将起到核心作用，为新科学技术产品提供更智能、更敏锐的感知能力。
，；应用最多的属于振动陀螺仪，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。
Viti-AI在ZCU104上跑AI模型01【Vitis从入门到精通】#从零开始学Vitis